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日本ULVAC愛發(fā)科干式真空泵

簡要描述:
日本ULVAC愛發(fā)科干式真空泵
'高抽速
在接近大氣壓的情況下具有高抽速,可大大縮短抽氣停機(jī)時間

更新時間:2025-06-17

訪問量:103

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

型號:LS120A

品牌ULVAC/日本愛發(fā)科供貨周期現(xiàn)貨
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科干式真空泵

日本ULVAC愛發(fā)科干式真空泵


特征

    • '高抽速
      在接近大氣壓的情況下具有高抽速,可大大縮短抽氣停機(jī)時間

    • 低功耗
      ECO-SHOCK 技術(shù)實(shí)現(xiàn)了低功耗。(C 型)
      極限壓力下的功耗為行業(yè)ling  先的 0.6kW 或更低。(LS120A-C)

    • 內(nèi)置消音器可實(shí)現(xiàn) 61dB(A) 或更低的噪音水平。

    • 運(yùn)行成本
      低 無軸封氣體。
      *吹掃氣體為 L 型。

    • 抽速120~1200m3/h 等級 *帶機(jī)械增壓泵
      根據(jù)用途可選擇最佳型號



應(yīng)用

C 型 : 清潔工藝 (LS***A-C)
特點(diǎn) : 低功耗型 (內(nèi)置 ECO-SHOCK)
應(yīng)用 : 用于空氣和 N2 G14 濺射 / 氣相沉積 /
層壓 / 負(fù)載鎖室 / TMP 前級泵等清潔工藝


L 型 : 輕制程 (LS***A-L)
特點(diǎn) : 輕制程型 (帶表面處理和吹掃功能)
用途 : 蒸汽和揮發(fā)性藥劑等輕制程 / 真空干燥 /
冷凍干燥 / 灰化 / 一般工業(yè)用途等

規(guī)格

(C:C 型)
(L:L 型)
LS120A型LS300A型LS600A型LS1200A
CLCLCLCL
最大抽速m3/小時1203806001000
極限壓力≦0.6≦0.1
電源200V 等級:3相,50/60Hz,AC200-240V 或 400V 等級:3相,50/60Hz,AC380-480V
功耗 *1千瓦0.62.01.02.51.32.61.32.7
冷卻水
流量
升/分鐘>2.0>4.0
吹掃氣體流量
*2
SLM 系列0~500~500~500~50
最大水蒸氣
耐受性 *3
公斤/小時1.51.51.51.5
噪音 *1分貝(A)61616264
入口入口
KF50(臥式)/
VG50(立式)
ISO-F-50 材質(zhì)ISO-F-80 認(rèn)證ISO-F-100 認(rèn)證
出口肯氟烴40肯氟烴40肯氟烴40肯氟烴40
重量公斤142220242266
適用標(biāo)準(zhǔn)CE、cTUVus
標(biāo)準(zhǔn)附件電源連接器、防水電纜夾、遠(yuǎn)程連接器、電源連接器防護(hù)罩
泵頭選項(xiàng)電源:200V 級或 400V 級,密封材料:FFKM(僅限 L 型)
外部選項(xiàng)MBP 入口法蘭適配器、Packege 排氣口、抗震支架、LR 兼容
單元(入口、遠(yuǎn)程)、吹掃氣體閥

*1:極限壓力(僅供參考)
*2:C 型不提供吹掃氣體。
*3:最大水蒸氣耐受量是使用吹掃氣體時的值。
注)C 型并非無泄漏。



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