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日本ULVAC愛發(fā)科兩級(jí)型低溫泵

簡(jiǎn)要描述:
日本ULVAC愛發(fā)科兩級(jí)型低溫泵
“型號(hào):CRYO-U4H"是一種使用兩級(jí)型 GM 低溫冷卻器的低溫泵,能夠進(jìn)行高真空抽氣。
根據(jù) FPD、半導(dǎo)體、電子設(shè)備、光學(xué)和研發(fā)等應(yīng)用,提供從小型到大型的廣泛產(chǎn)品。

更新時(shí)間:2025-06-20

訪問量:125

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

型號(hào):CRYO-U4H

品牌ULVAC/日本愛發(fā)科應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科兩級(jí)型低溫泵

日本ULVAC愛發(fā)科兩級(jí)型低溫泵


特征

適用于 4 英寸低溫泵的出色泵送性能

高抽速提高了抽速和生產(chǎn)率。

zui 適于半導(dǎo)體制造的濺射工藝或其他小型設(shè)備

一臺(tái)壓縮機(jī)最多可運(yùn)行 4 臺(tái)機(jī)組。

定制設(shè)計(jì)可滿足您的需求。

規(guī)范

抽速20°C)L/s450
500
370
1,100
極限壓力10-7
最大流量帕?L/秒1.3×103
泵送能力帕?L1.0×107
1,5×10%5
冷卻時(shí)間最?。?0/60Hz)45/50
重量公斤14.5



尺寸 (單位:mm)

日本ULVAC愛發(fā)科兩級(jí)型低溫泵


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