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日本ULVAC愛發(fā)科旋轉(zhuǎn)式多傳感器

簡要描述：

日本ULVAC愛發(fā)科旋轉(zhuǎn)式多傳感器
旋轉(zhuǎn)式多傳感器“CRTS-M6"是為晶體振蕩型沉積控制器“CRTM系列"開發(fā)的。5MHz 或 6MHz 晶體可安裝在旋轉(zhuǎn)式晶體支架中 6 片。它可用于高速氣相沉積和連續(xù)多層氣相沉積等，且具有安全性。

更新時間：2025-06-26

訪問量：91

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

型號：CRTS-M6

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產(chǎn)品介紹：

品牌	ULVAC/日本愛發(fā)科	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科旋轉(zhuǎn)式多傳感器

特征

可安裝 5 或 6 MHz 6 片 AT 切割晶體。

采用真空電機的du 創(chuàng)驅(qū)動系統(tǒng)實現(xiàn)了高可靠性。

水晶的更換可以與水晶支架一起拆卸。

如果檢測到晶體故障（異常振蕩），則通過控制器（CRTM）的信號自動切換到下一個晶體。

傳感器頭體積小（直徑 50 毫米），可以靈活地安裝在蒸發(fā)沉積設(shè)備中。

應(yīng)用

用于光學(xué)、OrganicEL、電氣器件的高速、多層沉積控制。

規(guī)格

傳感器頭
搭載的水晶編號	6 件
晶體容量	4MHz、5MHz 或 6MHz（可選）AT 切割晶體
耐熱溫度	350°C
冷卻水量	1升/分鐘
重量	1 千克
尺寸	φ50mm x 高 89mm

控制器
數(shù)字輸入	INIT、CNT、STOP
數(shù)字輸出	傳感器編號、BUSY、ERROR、RETRY、END
效用	DC24V，3.0A
尺寸 W×D×H	100 毫米 x 252 毫米 x 99 毫米

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